1、仪器型号：

生产厂家：Horiba 型号：UVISEL PLUS

2、仪器功能：

椭圆偏振光谱仪为先进薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。它作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，采用了PEM相位调制技术，与机械旋转部件技术相比，能提供更好的稳定性和信噪比。集成了全新的FastAcqTM快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品测试，校准仅需几分钟。基于全新的电子设备，数据处理和高速单色仪，FastAcq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。

3、技术参数：

(1)光谱范围：190～2100nm

(2)检测系统：高分辨率光谱仪配合高灵敏探测器

(3)光斑尺寸：0.05/0.1/1mm

4、应用范围与服务能力：

(1)可探测到极薄膜或界面，可表征的膜层厚度，从1Å到50μm。

(2)可实现高分辨的样品测试，光谱范围从190nm到2100nm。

(3)可测试表面和界面粗糙度、光学常数（折射率n、消光系数k）、光学特性、材料性能等。