1、仪器型号：

生产厂家：Tektronix 型号：4200A-SCS

2、仪器功能：

半导体参数分析仪（4200A-SCS）是一款可定制、全面集成的分析仪，可同时进行电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式（I-V）电学测试。4200A-SCS是最高性能的分析仪，可用于加快材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。

3、技术参数：

(1)直流电流-电压(I-V)范围：10aA～1A，0.2μV～210V

(2)电容-电压(C-V)范围：1kHZ～10MHz，±30V直流偏置

(3)脉冲I-V范围：±40V(80Vp-p)，±800mA，200MSa/s，5ns采样率

4、应用范围与服务能力：

(1)生物传感器检定

(2)半导体和NVM可靠性

(3)材料电阻率

(4)MOSFET检定