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瀚微科技
Jiangsu Hanwei Science and Technology Co., Ltd
  • 电子束曝光Raith150

  • 电子束曝光Raith150

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商品描述

加速电压：最高可达20 kV

最小线宽分辨率20 nm；

写场拼接精度＜±50 nm

套刻精度＜±50 nm

图形发生器扫描频率：20MHz