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  • 深硅刻蚀(DSi)

  • 深硅刻蚀(DSi)

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商品描述

深Si刻蚀：常规硅刻蚀速率约为10μm/min；硅/光刻胶刻蚀选择比：>50:1，侧壁与底面夹角：90°±1°。

尺寸：4英寸及以下