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基于X射线显微镜的水晶杂质含量计算
来源:江苏瀚微半导体科技有限责任公司 | 作者:JSHW | 发布时间 :2025-10-24 | 307 次浏览: | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ | 分享到:

本次对含矿水晶样品的内部观测与定量分析,主要依托于X射线显微镜的三维无损成像技术。其核心原理在于利用样品不同组分对X射线吸收系数的差异生成衬度。水晶主体(二氧化硅)与杂质相因其原子序数与密度的不同,对特定能量的X射线表现出迥异的吸收特性。

在获取的三维重建图像中,我们通过灰度值来可视化这一差异:水晶主体被渲染为红色,而杂质相则被清晰地区分并标记为蓝色。


我们采用了图像分割,将杂质相(蓝色区域)从水晶基质(红色区域)中精确分离。随后,通过统计杂质相所占据的体积与样品总体积的比值,实现了对杂质含量的直接体积占比计算。最终定量分析结果表明,该水晶样品中杂质相的体积分数为6.41%

X射线显微镜技术以其无损、三维、高衬度的成像能力,成为研究矿物包裹体、进行定量相分析的强有力工具。它克服了传统二维切片分析的统计代表性不足与破坏性等局限。