激光诱导显微镜（EMMI）是由于电偏置引起的电致发光–由于电偏置激发引起的光子发射，与正常运行期间相比，故障位置通常发射更多的光子，使用InGaAs探测器可以捕捉到光子进而知道发射位置，能侦测的波长范围是900 – 1700 nm左右，目前此设备广泛的应用于侦测各种元件缺陷所产生的漏电流。并且还具备激光诱导功能，激光诱导是通过监控激光对物体表面产生一个热刺激所引起的电阻变化，缺陷通孔电阻随温度升高而降低，从而确定缺陷位置。

用激光诱导显微镜定位芯片缺陷位置，缺陷位置会有光子逸出，结合光学显微镜查找缺陷原因。

激光诱导显微镜常用于结缺陷和击穿、氧化物泄漏、硅机械损伤、开路,短路和损坏结的定位，高空间分辨率和灵敏度可实现快速准确的检测和故障定位，保证样品的电完整性不受影响。