近日，我司提出《一种制备压电谐振器和互联电极的方法》， 正式获得国家知识产权局发明专利受理（申请号：2024118389376）。

本发明涉及传感器制造技术领域，具体提供了一种结合光刻工艺与超短脉冲激光加工的压电谐振器及互联电极制备方法。该方法包括以下步骤：在压电材料晶圆衬底双面沉积金属薄膜I；通过光刻形成图案化光刻胶；采用皮秒或飞秒激光切割形成谐振器结构与侧面电极分割结构；以光刻胶为掩模图形化金属薄膜I；沉积覆盖表面和侧面的金属薄膜II作为互联电极；通过剥离与腐蚀工艺完成表面电极区域分割；最后利用激光切割去除侧面电极分割结构，实现侧面电极的绝缘隔离。该方法有效解决了传统工艺中侧面电极制备困难、精度低的问题，显著提高了电极互联效率和信号拾取能力，适用于石英、PZT等多种压电材料。