1、仪器型号：

生产厂家：SEMICAPS PTE LTD  型号：SOM 1100

2、仪器功能：

激光诱导显微镜结合电致发光成像和激光诱导电阻变化两种方法，用于精准定位电子元件的故障。在电偏置下，缺陷处会发射近红外光子（900-1700nm），通过高灵敏度InGaAs探测器可捕捉这些信号定位漏电、短路等问题；同时利用激光局部加热样品，通过监测电阻变化来识别断路、接触不良等热敏感缺陷。

该技术具备卓越的无损分析能力，在检测过程中能确保样品的电学完整性不受影响。它集高空间分辨率与高检测灵敏度于一身，可精准探测低至微安级的电流与电压变化，从而实现对故障点的快速、精准定位，并大幅提升分析效率。

3、技术参数：

(1)侦测波长范围：900～1700nm

(2)探测器像素：640*512

(3)激光：波长1340nm，功率≥500mW

4、应用范围与服务能力：

(1)结缺陷和击穿

(2)氧化物泄漏

(3)硅机械损伤

(4)开路、短路和损坏结的定位

(5)Mapping