服务内容:
热点定位与发光成像: 精准定位因短路、漏电、栅氧击穿等缺陷导致的热点 或发光点,直接关联电性失效位置。
OBIRCH / TLS 分析:利用激光束诱导电阻变化或热激光刺激技术,灵敏地检测金属连线异常、通孔缺陷和晶体管线粒问题。
IC内部缺陷可视化: 在不打开芯片封装、不破坏芯片结构的前提下,实现对其内部pn结、晶体管等有源器件工作状态的可视化检测。
失效点快速筛查: 相较于传统方法,能极大缩短失效分析周期,快速从整个芯片或特定区域中筛选出微米级的缺陷位置。
技术优势:
真正的无损分析: 无需去层、无需物理接触,保持样品的完整性,为后续进一步分析提供可能。
高灵敏度与分辨率: 具备微米级的空间分辨率,能够检测到极其微弱的热点或发光信号,发现早期或微小的缺陷。
快速高效定位: 集成化的工作流程和强大的分析软件,能快速完成大面积扫描和缺陷定位,显著提升失效分析效率。
与电性测试联动: 该技术可与Tektronix 4200A半导体参数分析仪服务联动,实现从 “电学性能异常” 到 “物理位置定位” 的无缝衔接。
典型应用客户:
集成电路设计与制造公司: 用于芯片研发阶段的故障调试、量产后的良率提升与失效品根因分析。
半导体封测厂: 用于封装工艺引起的可靠性问题分析,如键合线问题、封装应力导致的损伤。
科研机构与高校: 用于先进半导体器件与材料的可靠性机理研究。
汽车电子、航空航天等高可靠性领域的芯片分析与验证。