服务内容：

• 三维表面形貌分析： 精确重建样品表面的三维形貌图像，直观展现表面的起伏、纹理与结构特征。

• 粗糙度与轮廓参数测量： 提供符合ISO标准的Ra、Rq、Rz等多种粗糙度参数，以及台阶高度、平面度、体积等关键尺寸的精准测量。

• 薄膜厚度与膜基形貌分析： 对透明薄膜的厚度进行测量，并分析膜层的表面平整度与覆盖情况。

• 微观形变与磨损分析： 对比处理前后的表面形貌变化，用于分析材料的磨损、腐蚀、划痕等性能。

技术优势：

• 非接触无损检测： 光学测量方式，完全避免对柔软、易损伤样品表面的触碰和破坏。

• 高精度与高效率： 纳米级的纵向分辨率，结合高速扫描，可快速获取大面积三维数据，提升检测效率。

• 跨尺度测量能力： 兼顾高分辨率与大视野，既能分析微观粗糙度，也能测量宏观的平面度和轮廓度。

• 强大的分析软件： 提供丰富的数据分析工具，可轻松获取数十种表面参数，并生成直观的二维、三维图表。

典型应用客户：

• 半导体与MEMS： 晶圆表面粗糙度、CMP工艺后平整度、光刻胶形貌、微结构尺寸测量。

• 精密加工与制造： 刀具、轴承、模具的表面粗糙度与磨损情况检测。

• 光学与镀膜行业： 光学元件表面质量、薄膜平整度检验。

• 材料科学研发： 涂层表面形貌、复合材料界面分析、材料摩擦学性能研究。

• 生物与医疗器件： 人工植入体表面粗糙度、微流道芯片的轮廓测量。