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瀚微科技
Jiangsu Hanwei Science and Technology Co., Ltd
  • Jeol 8100FS

  • Jeol 8100FS

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商品描述

加速电压：100kV

最小线宽分辨率8nm；

写场拼接精度＜±20nm(1000μm写场)

套刻精度＜±9nm（100μm写场）

图形发生器扫描频率：125MHz