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  • SiO2、SiN刻蚀 （AOE）

  • SiO2、SiN刻蚀 （AOE）

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商品描述

刻蚀速率：＞250nm/min；

选择比：多晶硅＞15:1；

均匀性和重复性：＜±5%；