氧化铟锌膜层样品膜厚均匀性测试椭圆偏振光谱仪mapping测试案例

本案例采用椭圆偏振光谱仪（椭偏仪），完成了基底为SiO2的六寸IZO（氧化铟锌）玻璃制品膜厚均匀性的mapping测试。通过测试后得到的mapping膜厚分布图分析，该样品膜层的平均膜厚约为94.837 nm，波动范围在-14.702 nm到5.219 nm之间。其变异系数CV为5.4%，表明氧化铟锌的整体膜厚均匀性还有提升空间。

IZO 膜（铟锌氧化物膜）核心应用于显示、光伏、触控、传感器等需 “透明导电” 的领域，膜厚均匀性直接决定产品性能稳定性、良率及使用寿命，是核心工艺控制指标。本案例采用型号为Horiba France SAS UVISEL PLUS的椭偏仪，对样品进行了采集单点数据—创建拟合模型—构建mapping—mapping测试。膜厚mapping测试结果如下图所示。

对25个点的膜厚数据进行分析，结果如下表所示：

其中平均膜厚与中位数膜厚相差不大，说明样品整体膜厚相对均匀，不存在异样膜厚点。5.125 nm的标准差和5.40%的变异系数表明，IZO膜厚围绕平均值的离散程度较差。但是，去边两点后发现，样品的变异系数降为2.69%，这说明样品中心位置均匀性良好，但靠近边缘的均匀性较差，仍有提升空间。通常，CV<1%为优秀均匀性，厚度几乎无明显波动；1%≤CV≤3%为良好均匀性，满足多数工业场景；3%≤CV≤5%为中等均匀性，普通功能膜可以接受；CV>5%为较差均匀性，可能影响膜层功能。最小值也处于边缘附近，侧面说明边缘均匀性差，溅射效果不佳。

  样品外观