1、仪器型号：

生产厂家：Carl Zeiss  型号：GeminiSEM 360

2、仪器功能：

扫描电镜通过电子束与样品的相互作用产生的二次电子、背散射电子信号进行样品微观形貌及结构的高分辨率观察。适用于磁性、非磁性块状、液体及粉末状样品观察。

3、技术参数：

(1)分辨率：0.7nm@15kV,1.2nm@1kV

(2)加速电压：0.02kV～30kV

(3)放大倍率可达1,000,000倍

(4)旋转角度可达-4～70°,方便侧面或截面观察

4、应用范围与服务能力：

(1)可用于观察金属、陶瓷、高分子等材料的微观结构、断口分析、缺陷检测以及涂层表面形貌

(2)可清晰呈现生物样品的表面微结构

(3)可表征纳米颗粒、纳米薄膜等纳米材料尺寸和形貌

(4)可用于分析矿石、矿物、微体化石的微观形态

(5)可应用于集成电路(IC)、芯片等元件的失效分析和尺寸测量