1、仪器型号：

生产厂家：ThermoFisher 型号：Helios 5 CX

2、仪器功能：

聚焦离子束系统是一种集高分辨率成像(SEM)、纳米级加工切割(FIB)和元素分析(EDS)于一体的尖端仪器。它能在纳米尺度上对样品进行精准定位、截面制备、以及成分分析，是材料科学和半导体领域进行微观检测与失效分析的强大工具。

3、技术参数:

(1)电子束分辨率：0.6nm@15kV，1.0nm@1kV

(2)离子束分辨率：2.5nm@30kV，离子源类型：Ga液态金属离子源

(3)可沉积物质：Pt，C，W

4、应用范围与服务能力:

(1)透射电子显微镜(TEM)样品制备

(2)截面分析

(3)芯片修补与线路编辑

(4)微纳结构的制备