1、仪器型号：

生产厂家：Hitachi 型号：VS1800

2、仪器功能：

白光干涉仪应用光干涉现象，对微细的表面形貌进行测量，可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。

3、技术参数：

(1)测量相机：高像素相机，镜筒×1，物镜×5、×20、×50

(2)垂直方向分辨率(表面形貌)：0.01nm(Phase模式下)

(3)空间分辨率：350nm

4、应用范围与服务能力：

(1)可测量表面形貌、膜层厚度(500nm以上)、粗糙度(微米级)等参数,以评估器件的性能和质量

(2)可以对多层膜的层结构进行分析,检测层内部的异物和气泡等缺陷

(3)可进行负荷曲线分析,计算磨损量,实现对摩擦学性能的定量评估