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电子束曝光Raith150
    发布时间: 2026-08-21 16:57    
电子束曝光Raith150

加速电压：最高可达20 kV

最小线宽分辨率20 nm；

写场拼接精度＜±50 nm

套刻精度＜±50 nm

图形发生器扫描频率：20MHz


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