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Jiangsu Hanwei Science and Technology Co., Ltd
Raith eLine plus
    发布时间: 2026-08-21 16:58    
Raith eLine plus

加速电压:最高可达20kV

最小线宽分辨率8nm

写场拼接精度<±40 nm

套刻精度<±40 nm

图形发生器扫描频率:20MHz


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