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瀚微科技
Jiangsu Hanwei Science and Technology Co., Ltd
仪器设备详情
Raith eLine plus
发布时间: 2026-08-21 16:58
商品信息
加速电压:最高可达
20kV
最小线宽分辨率
8nm
;
写场拼接精度<±
40 nm
套刻精度<±
40 nm
图形发生器扫描频率:
20MHz
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