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深硅刻蚀(DSi)
    发布时间: 2026-08-21 17:22    
深硅刻蚀(DSi)

Si刻蚀:常规硅刻蚀速率约为10μm/min;硅/光刻胶刻蚀选择比:>50:1,侧壁与底面夹角:90°±1°

尺寸:4英寸及以下


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